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J-GLOBAL ID：200903065924903937

周波数変調格子による格子投影形状計測方法及び装置

Inventor： 池田 泰之 ,  森本 吉春 ,  藤垣 元治 ,  米山 聡
Applicant, Patent owner： 和歌山大学長
Agent (1)： 杉村 興作
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002057776
Publication number (International publication number)：2003254732
Application date： Mar. 04, 2002
Publication date： Sep. 10, 2003
Summary：

【要約】【課題】 シンプルな構造の装置で位相接続を行うことができる形状計測方法及び装置を提供する。【解決手段】 位置によって周波数と輝度が各々周期的に変化する周波数変調格子を所定の速度で移動させながら計測対象物体に投影するステップと、前記格子が投影された計測対象物体を連続的に一定間隔で撮影するステップと、前記撮影された画像から、周波数に関する位相分布と、輝度に関する位相分布とを各々求めるステップと、前記周波数に関する位相分布と、輝度に関する位相分布とを使用して位相接続するステップと、前記位相接続した位相分布を前記計測対象物体の高さ分布に対応させるステップとを含む。

Claim (excerpt)：

物体の高さ分布を得る形状計測方法において、位置によって周波数と輝度が各々周期的に変化する周波数変調格子を所定の速度で移動させながら計測対象物体に投影するステップと、前記格子が投影された計測対象物体を連続的に一定間隔で撮影するステップと、前記撮影された画像から、周波数に関する位相分布と、輝度に関する位相分布とを各々求めるステップと、前記周波数に関する位相分布と、輝度に関する位相分布とを使用して位相接続するステップと、前記位相接続した位相分布を前記計測対象物体の高さ分布に対応させるステップとを含むことを特徴とする形状計測方法。

IPC (2)：

G01B 11/25 ,  G01B 11/24

FI (2)：

G01B 11/24 E ,  G01B 11/24 K

F-Term (19)：

2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065BB26 ,  2F065DD03 ,  2F065FF07 ,  2F065GG08 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065KK03 ,  2F065LL04 ,  2F065MM14 ,  2F065PP02 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ00 ,  2F065UU01 ,  2F065UU05