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J-GLOBAL ID：200903065968415042

スクライブ装置

Inventor： 村上 裕紀 ,  荒木 雅昭 ,  篠崎 謙吾 ,  若林 公宏
Applicant, Patent owner： 富士ゼロックス株式会社
Agent (1)： 田中 隆秀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993283353
Publication number (International publication number)：1995138039
Application date： Nov. 12, 1993
Publication date： May. 30, 1995
Summary：

【要約】【目的】 脆性板に形成する切り溝の形状が曲線であっても、曲げモーメントの併用により深い切り溝を形成できるスクライブ装置を提供すること。【構成】 脆性板B上面に切り溝を形成するスクライブ装置は、脆性板載置面4aと、この脆性板載置面4aに載置された脆性板B上面のスクライブ予定ラインに沿って、脆性板B上面に押圧されながら移動するスクライブチップ14とを備え、前記脆性板載置面4aは、スクライブ予定ラインに沿って配置された硬度の高い線状載置部材5と、上方から押圧したとき下方に変形可能な弾性部材6により形成されている。また、前記スクライブチップ14の両側にスクライブチップ14と連動して脆性板B上面を押圧しながら移動し且つ脆性板Bに前記線状載置部材5との接触面を支点とする曲げモーメントを発生させる押圧ローラ17,17が配置されている。

Claim (excerpt)：

脆性板載置面と、この脆性板載置面に載置された脆性板上面のスクライブ予定ラインに沿って、脆性板上面に押圧されながら移動するスクライブチップとを備え、前記脆性板上面に切り溝を形成するスクライブ装置において、下記の要件を備えたことを特徴とするスクライブ装置、(Y01) 前記脆性板載置面は、スクライブ予定ラインに沿って配置された硬度の高い線状載置部材と、上方から押圧したとき下方に変形可能な弾性部材により形成されたこと。(Y02) 前記スクライブチップの両側にスクライブチップと連動して脆性板上面を押圧しながら移動し且つ脆性板に前記線状載置部材との接触面を支点とする曲げモーメントを発生させる押圧ローラ。

IPC (3)：

C03B 33/03 ,  C03B 33/033 ,  H01L 21/301