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J-GLOBAL ID：200903065980305104

低表面張力硫酸組成物

Inventor： 田中 啓之 ,  迫 直樹 ,  大村 恭弘
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993212761
Publication number (International publication number)：1995062386
Application date： Aug. 27, 1993
Publication date： Mar. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 表面張力が低くシリコンウエハの洗浄性が良好であり、且つ洗浄後のシリコン表面への悪影響が少ない低表面張力硫酸組成物を提供する。【構成】 下記一般式(I)で表されるフルオロアルキルスルホン酸の3級アンモニウム塩よりなるフッ素系界面活性剤を含有してなる低表面張力硫酸組成物。【化1】R1 -(CX2)n -SO3 -A (I)(式中、R1 は脂環式フルオロアルキル基を、Xは水素原子またはフッ素原子を、nは0〜3の整数、AはNHR23もしくはNHR33Nを表す。ここで、R2は低級アルキル基、R3 は低級アルキレン鎖を表す。)

Claim (excerpt)：

下記一般式(I)で表されるフルオロアルキルスルホン酸の3級アンモニウム塩よりなるフッ素系界面活性剤を含有してなる低表面張力硫酸組成物。【化1】R1 -(CX2)n -SO3 -A (I)(式中、R1 は脂環式フルオロアルキル基を、Xは水素原子またはフッ素原子を、nは0〜3の整数、AはNHR23もしくはNHR33Nを表わす。ここで、R2 は低級アルキル基、R3 は低級アルキレン鎖を表す。)

IPC (6)：

C11D 1/14 ,  C09D 9/00 PSS ,  C09K 13/08 ,  C11D 7/34 ,  C23G 1/00 ,  H01L 21/304 341