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J-GLOBAL ID：200903065992800330
静電チャック
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992070162
Publication number (International publication number)：1993235152
Application date： Feb. 20, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は高い吸着力をもち、リーク電流を防止することができる静電チャックの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の静電チャックは、電極の上下に絶縁層を有する静電チャックにおいて、その吸着面側の絶縁層が吸着面から順に高絶縁体層および高誘電体層の少なくとも2層からなるものであることを特徴とするものである。
Claim (excerpt)：
電極の上下に絶縁層を有する静電チャックにおいて、その吸着面側の絶縁層が吸着面から順に高絶縁体層および高誘電体層の少なくとも2層からなるものであることを特徴とする静電チャック。
IPC (3)：
H01L 21/68
, B25J 15/06
, H02N 13/00
