Pat
J-GLOBAL ID：200903065995221390
偏光ビームスプリッター及び多層膜の成膜方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995342994
Publication number (International publication number)：1997184916
Application date： Dec. 28, 1995
Publication date： Jul. 15, 1997
Summary：
【要約】【課題】 入射光の発散角が±5°以上の広い角度領域に対しても所定の偏光特性を有する偏光ビームスプリッターをする。【解決手段】 分岐する光の中心波長をλ、高屈折率材料からなる膜の光学的膜厚H及び低屈折率材料からなる膜の光学的膜厚Lとしたとき、0.8×λ/4≦H≦1×λ/4且つ0.7×λ/4≦L≦1×λ/4となる第1のスタックと、1.3×λ/4≦H≦1.5×λ/4且つ1.2×λ/4≦L≦1.5×λ/4となる第2のスタックとによって偏光ビームスプリッターを構成する。第1及び第2のスタックを備えることにより、広い角度領域に対応する偏光特性を具備する。
Claim (excerpt)：
高屈折率材料からなる膜と低屈折率材料からなる膜とを基板上に交互に積層してなるビームスプリッターにおいて、分岐する光の中心波長をλ、高屈折率材料からなる膜の光学的膜厚H及び低屈折率材料からなる膜の光学的膜厚Lとしたとき、0.8×λ/4≦H≦1×λ/4且つ0.7×λ/4≦L≦1×λ/4となる第1のスタックと、1.3×λ/4≦H≦1.5×λ/4且つ1.2×λ/4≦L≦1.5×λ/4となる第2のスタックとを有することを特徴とする偏光ビームスプリッター。
IPC (2)：
G02B 5/30
, B32B 7/02 103
G02B 5/30
, B32B 7/02 103
