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J-GLOBAL ID：200903066003720183

バルブレス液体供給装置

Inventor： 永田 晴紀 ,  金子 雄大
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 北海道大学
Agent (1)： 鷲田 公一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007082739
Publication number (International publication number)：2008240643
Application date： Mar. 27, 2007
Publication date： Oct. 09, 2008
Summary：

【課題】バルブレスの液体供給方式を維持しつつ、液体タンクの配置位置の制約をなくすことができるバルブレス液体供給装置を提供する。【解決手段】液体タンク110の上蓋に、下方に伸張する内管114を取り付け、内管114の内部に、液体タンク110内の液体を取り出して外部に供給する供給管116を設ける。供給管116の開口上端部は、液面162の初期位置よりも高い位置に設ける。液体を供給しない場合は、三方弁150により排気ラインを開けて、気化したガスを内管114内に排気する。このとき、液面162は供給管116の開口上端部よりも下方に保たれ、液体の外部への流出はない。液体を供給する場合は、三方弁150により加圧ラインを開けて、高圧ガスを液体タンク110内に導入する。これにより、液面が加圧され、内管114内の液面が上昇して、内管114内から供給管116内に液体が流入して、外部に供給される。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

液面への加圧により極低温の液体をバルブレスで外部に供給するバルブレス液体供給装置であって、 前記液体を一時貯蔵する液体タンクと、 前記液体タンクの天井部から下方に伸張する内管と、 前記内管の内側上部に開口端部を有する供給管と、を有し、 前記供給管の前記開口端部は、前記液体充填後の前記内管内の液面の初期位置よりも高い位置に配置され、 前記供給管は、 前記内管内の液面が初期位置から上昇したときに前記内管内から流入した前記液体を外部に供給する、 バルブレス液体供給装置。

IPC (2)：

F02K 9/50 ,  F02K 9/72

FI (2)：

F02K9/50 ,  F02K9/72

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

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  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-285514   Applicant：独立行政法人科学技術振興機構