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J-GLOBAL ID：200903066015699554

レーザ加工装置

Inventor： 津田 樹宏
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 渡部 温
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997196427
Publication number (International publication number)：1999028592
Application date： Jul. 08, 1997
Publication date： Feb. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】 被加工物の温度変化に起因する加工精度低下を防止することのできるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 本レーザ加工装置においては、被加工物(ウェハ1)を保持するホルダ2に、温度を一定に維持する温調機構18を設けた。さらに、加工前のウェハを待機させる待機部14に、温度を一定に維持する温調機構19を設けた。そして、ホルダ2等に設置したウェハ1の温度を設定値の温度にするようにした。そのため、機内の温度差によって徐々にウェハが変位することがなく、精度を保った加工が可能になる。

Claim (excerpt)：

被加工物にレーザを照射して加工するレーザ加工装置において;被加工物を保持するホルダに、温度を一定に維持する温調機構を設けたことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (5)：

B23K 26/10 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/12 ,  H01L 21/68 ,  B23K 31/00

FI (6)：

B23K 26/10 ,  B23K 26/00 H ,  B23K 26/00 M ,  B23K 26/12 ,  H01L 21/68 N ,  B23K 31/00 J