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J-GLOBAL ID：200903066026378288

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 小林 英一 ,  池邑 俊昭 ,  西村 幸生 ,  岩永 伸一郎
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998258876
Publication number (International publication number)：2000066404
Application date： Sep. 11, 1998
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】 特にKRFエキシマレーザーに代表される遠紫外線に対して高感度(低露光エネルギー量)であり、かつ優れた解像性能およびパターン形状をもたらしうる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 組成物は、(A)下記式(1)で表される繰返し単位(1)と下記式(2)で表される繰返し単位(2)とを有する樹脂、該樹脂と(B)繰返し単位(1)と下記式(3)で表される繰返し単位(3)とを有する樹脂との混合物、あるいは(C)繰返し単位(1)〜(3)を有する樹脂、並びに(D)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】【化2】【化3】〔式(1)〜(3)において、R1 〜R4 は水素原子またはメチル基を示し、R5 およびR6 はアルキル基を示す。〕

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)で表される繰返し単位および下記式(2)で表される繰返し単位を有する樹脂並びに(D)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (2)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (16)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45