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J-GLOBAL ID：200903066052658159
質量分析装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997105780
Publication number (International publication number)：1998302708
Application date： Apr. 23, 1997
Publication date： Nov. 13, 1998
Summary：
【要約】【課題】 プラズマ質量分析計や液体クロマトグラフ/質量分析計において、イオン源に起因するノイズを低減させるとともに、シグナル量の低下を抑え、S/Nの大幅な改善を達成する。【解決手段】 偏向レンズ8の後に二重円筒型の静電レンズ10を組み合わせて用いることにより、偏向後のイオンの収束性を改善する。
Claim (excerpt)：
大気圧下でイオンを生成するイオン源と、該イオン源から生成したイオンを高真空領域に取り込むための差動排気部と、該差動排気部を通過して高真空領域に取り込まれたイオンを引き出して収束する収束レンズ部と、該収束レンズ部で収束されたイオンを質量分析して検出する質量分析部からなる質量分析装置において、上記収束レンズ部が、イオンの進行方向を変えるための偏向レンズと、該偏向レンズで偏向されたイオンのビーム幅を圧縮するための静電レンズからなることを特徴とする質量分析装置。
IPC (2)：
FI (3)：
H01J 49/06
, G01N 27/62 X
, G01N 27/62 E
