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J-GLOBAL ID：200903066053534712

露光装置

Inventor： 宮井 恒夫
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 立石 篤司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996049509
Publication number (International publication number)：1997219363
Application date： Feb. 13, 1996
Publication date： Aug. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】 基板ホルダの清掃時に発生する異物が装置内に残留するのを防止する。【解決手段】 基板ホルダ40の感光基板との接触部41、41、......の近傍に異物吸引用の吸引口49、49、......が形成され、各吸引口49が吸気通路(51a、51b、53)を介して真空ポンプ55に接続されている。このため、基板ホルダ40の接触部41、41......が砥石により清掃される際に落下あるいは飛散する異物が、真空ポンプ55で発生した負圧により接触部近傍に設けられた各吸引口49を介して吸気通路内に吸い込まれる。従って、基板ホルダの清掃時に発生する異物が装置内に残留するのを防止することができる。

Claim (excerpt)：

マスクに形成されたパターンを基板ホルダに保持された感光基板上に転写する露光装置において、前記基板ホルダの前記感光基板との接触部の近傍に異物吸引用の吸引口が形成され、この吸引口が吸気通路を介して真空源に接続されていることを特徴とする露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (3)：

H01L 21/30 503 C ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 P