Pat

J-GLOBAL ID：200903066067627721

走査型プローブ加工観察装置

Inventor： 川浪 義実 ,  大西 毅
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994126083
Publication number (International publication number)：1995335167
Application date： Jun. 08, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】 試料上の加工領域が大きくなっても、高い精度で加工できる走査型プローブ加工観察装置を提供する。【構成】 開示の走査型プローブ加工観察装置では、試料の任意の領域を観察して第1のイメージを形成し、前記試料の観察領域の一部を拡大観察して第2のイメージを形成し、前記第1のイメージを構成する画素のアドレスと前記第2のイメージを構成する画素のアドレスをそれぞれ前記試料上の絶対的アドレスに関係付ける。また、試料の任意の領域を最大の倍率で観察しそのイメージデータを保存しておく。上記イメージデータを圧縮して観察領域の画面上に表示する。この画面を参照し、保存されたイメージデータを任意に呼び出して加工領域を指定する画面を形成する。

Claim (excerpt)：

試料を保持する手段、所定の基準点に対する二次元的アドレスで指定される前記試料上の一点にプローブを位置決めする手段、前記試料上のアドレスの変化に応じて前記プローブの位置をステップさせ、該プローブを前記試料上で走査する手段、前記プローブを前記指定された試料上のアドレスへ位置決めすることにより生じる信号に基づき試料のイメージを形成し、それを画面に表示する手段、前記画面上において加工領域の指定を許容し、該加工領域に対応する前記試料の領域を与えられた条件で前記プローブにより走査し、該試料の領域を加工する手段、を有する加工観察装置本体と、観察の倍率を指定する手段、指定された倍率に応じて前記試料上のアドレスを変化させる手段、第1の倍率で観察された前記試料における任意の領域のイメージをリファレンスイメージとして前記画面の表示させる手段、前記第1の倍率を保存する手段、前記リファレンスイメージを表示する画面上の1のアドレスを第1の原点として保存する手段、前記リファレンスイメージの表示画面において、任意の部分を指定する手段、該指定された部分の原点と前記第1の原点とを比較し、両者のシフトデータを保存する手段、前記指定された部分につき前記第2の倍率で観察して得た第2のイメージを画面に表示させる手段、前記第2のイメージを表示する画面上のアドレスに対応する前記試料上のアドレスを前記第1の倍率、第2の倍率及び前記シフトデータに基づき演算する手段、該第2のイメージを表示する画面で指定された加工領域に対応する前記試料上のアドレスを前記演算手段で演算し、その演算結果に基づき、加工のために前記プローブを走査させる手段、を有する前記加工観察装置本体に連結され、それを制御する制御装置と、を有する走査型プローブ加工観察装置。

IPC (3)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 画像信号速度変換回路
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-335185   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 顕微鏡遠隔観察システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-035639   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 特開昭62-110247
  
• 特開昭59-101352