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J-GLOBAL ID：200903066082992770

粒子測定装置

Inventor： 山▲崎▼ 達也
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 日比谷 征彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994124209
Publication number (International publication number)：1995083819
Application date： May. 13, 1994
Publication date： Mar. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 偏光を考慮した粒子分別能力に優れる粒子測定装置を提供する。【構成】 レーザー光源21の前方には、照射光学系22、フローセル23、直進レーザー光を遮蔽するストッパ24、前方散乱光集光光学系25、前方散乱光検出器26が配列されている。フローセル23の反射方向には、側方散乱光及び蛍光の集光光学系27、入射角が30°に設定されたダイクロイックミラー28、同様に入射角が30°に設定されたダイクロイックミラー29、レンズ30、検出器31が配列されている。ダイクロイックミラー28の反射方向には制限開口32、レンズ33、検出器34が配置され、ダイクロイックミラー29の反射方向には偏心のない制限開口35、レンズ36、検出器37が配置されている。

Claim (excerpt)：

光源と、該光源からの光を被検粒子に照射する照射手段と、該被検粒子より生ずる散乱光及び(又は)蛍光から成る信号光を集光する集光手段と、該信号光を分光分割する分割手段と、該信号光を検知する検出手段とを具備する粒子測定装置において、前記分割手段に入射する前記信号光の入射角を、前記分割手段が有する偏光特性が入射角が45°のときの偏光特性よりも小さくなる角度に設定したことを特徴とする粒子測定装置。