感光性樹脂組成物 | Patent Information

【要約】【課題】プリント配線板の製造、金属の精密加工等に用いられるエッチングレジスト又はめっきレジストとして、特に優れた密着性、解像性及び膜強度を有する感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感光性樹脂組成物は、(A)1分子内に2個以上の不飽和二重結合と1個以上のカルボキシル基を有する感光性プレポリマー、(B)光重合開始剤としてα-アミノアセトフェノン系化合物、(C)反応性希釈剤、さらに必要に応じて(B-1)上記化合物(B)以外の他の光重合開始剤を含有する。このような感光性樹脂組成物を、液状フォトエッチングレジストとして用いることにより、パターン形成性、エッチング耐性、剥離性等の諸特性のみでなく、塗膜としての柔軟性も改善される。

(A)1分子内に2個以上の不飽和二重結合と1個以上のカルボキシル基を有する感光性プレポリマー、(B)光重合開始剤として下記一般式(I)で表わされる化合物及び(C)反応性希釈剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中、Arは、次式【化2】で示される基、又はこれらの基がハロゲン原子、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数3〜12のアルケニル基、炭素原子数5〜6のシクロアルキル基、フェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)、-COOH、-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、-OR5、-SH、-SR6、-SOR6、-SO2R6、-CN、-SO2NH2、-SO2NHR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、-SO2NR2(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、-NR7R8及び-NHCOR7のうちの1〜5個によって、もしくは下記式(Ia)【化3】で示される基によって置換された基を表わし;Xは、直接結合、-O-、-S-又は-N(R9)-を表わし;Yは、水素原子、炭素原子数1〜12のアルキル基、又はこれらのアルキル基が-OH、-OR9、-COOR9、-SH、-N(R9)2もしくはハロゲン原子のうちの1〜5個によって置換されているか、もしくは前記式(Ia)で示される基によって1〜5回置換された基を表わすか、又は1〜9個の-O-、-N(R9)-、-S-、-SS-、-X-C(=O)-、-X-C(=S)-、-C(=O)-X-、-X-C(=O)-X-、-X-C(=S)-X-、もしくは次式【化4】で示される基によって中断された炭素原子数2〜20のアルキル基、もしくは該中断された炭素原子数2〜20のアルキル基がさらに1〜5個の-SHによって置換されたアルキル基を表わすか、又は、ベンジル基もしくは-CH2SHによって1回又は2回置換されたベンジル基又はこれらのベンジル基がさらに炭素原子数1〜4のアルキル基によって置換された基を表わし;R1及びR2は、互いに独立して炭素原子数1〜8のアルキル基、又は-OH、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、-SH、-CN、-COOR’(但し、R’は1〜8のアルキル基)、RCOO-(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、もしくは-NR3R4によって置換された炭素原子数1〜8のアルキル基を表わすか、又は互いに独立して炭素原子数3〜6のアルケニル基、フェニル基、クロロフェニル基、R5-O-フェニル基、R6-S-フェニル基もしくはフェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)、又はこれらの炭素原子数3〜6のアルケニル基、フェニル基、クロロフェニル基、R5-O-フェニル基、R6-S-フェニル基もしくはフェニルアルキル基(アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)がさらに1〜5個の-SHによって置換された基を表わすか、又は、R1及びR2は一緒になって直鎖もしくは枝分れ鎖の炭素原子数2〜9のアルキレン基、炭素原子数3〜9のオキサアルキレン基もしくは炭素原子数3〜9のアザアルキレン基、又はこれらの炭素原子数2〜9のアルキレン基、炭素原子数3〜9のオキサアルキレン基もしくは炭素原子数3〜9のアザアルキレン基がさらに1〜5個の-SHによって置換された基を表わし;R3は、水素原子、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数2〜4のアルキル基であって-OH、-SH、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、-CNもしくは-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)によって置換された基、炭素原子数3〜5のアルケニル基、炭素原子数5〜12のシクロアルキル基又はフェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)を表わし;R4は、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数2〜4のアルキル基であって-OH、-SH、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、-CNもしくは-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)によって置換された基、炭素原子数3〜5のアルケニル基、炭素原子数5〜12のシクロアルキル基、フェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)、未置換のフェニル基、又はフェニル基であってハロゲン原子、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基もしくは-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)によって置換された基を表わすか、又は、R4はR2と一緒になって炭素原子数1〜7のアルキレン基、フェニルアルキレン基(但し、アルキレン基は炭素原子数1〜4のアルキレン基)、o-キシリレン基、2-ブテニレン基、炭素原子数2〜3のオキサアルキレン基もしくは炭素原子数2〜3のアザアルキレン基を表わすか、又は、R4はR3と一緒になって炭素原子数3〜7のアルキレン基又は-O-、-S-、-CO-もしくは-N(R9)-によって中断された炭素数3〜7のアルキレン基、又はこれらの炭素原子数3〜7のアルキレン基が-OH、炭素原子数1〜4のアルコキシ基もしくは-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)によって置換された基を表わし;R5は、水素原子、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数3〜12のアルケニル基、シクロヘキシル基、ヒドロキシシクロヘキシル基を表わすか、又は炭素原子数1〜4のアルキル基であってC1、Br、-CN、-SH、-NR2(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、ピペリジノ基、モルホリノ基、-OH、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、-OCH2CH2CN、-OCH2CH2COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、-OOCR10、-COOH、-COOR’(但し、R’は炭素原子数1〜8のアルキル基)、-CONHR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、-CONR2(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、下記式(i)【化5】で示される基、-COR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)もしくは下記式(ii)【化6】で示される基によりモノ-又はポリ置換された基を表わすか、又は、2,3-エポキシプロピル基、-(CH2CH2O)nH(但し、nは2〜20の整数)、未置換のフェニル基、又はフェニル基であってハロゲン原子、炭素原子数1〜4のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基もしくは-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)によって置換された基を表わすか、又は、フェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)、テトラヒドロピラニル基、テトラヒドロフラニル基、-COOR10、-COOR’(但し、R’は炭素原子数1〜8のアルキル基)、-CONHR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、-CONR’2(但し、R’は炭素原子数1〜8のアルキル基)、-Si(R11)(R12)2又は-SO2R13を表わし;R6は、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数3〜12のアルケニル基、シクロヘキシル基、ヒドロキシシクロヘキシル基を表わすか、又は炭素原子数1〜4のアルキル基であってC1、Br、-CN、-SH、-NR2(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、ピペリジノ基、モルホリノ基、-OH、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、-OCH2CH2CN、-OCH2CH2COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、-OOCR10、-COOH、-COOR’(但し、R’は炭素原子数1〜8のアルキル基)、-CONR2(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、前記式(i)で示される基、-COR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)もしくは前記式(ii)で示される基によりモノ-又はポリ置換された基を表わすか、又は、2,3-エポキシプロピル基、フェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)、フェニルヒドロキシアルキル基(但し、ヒドロキシアルキル基は炭素原子数1〜3のヒドロキシアルキル基)、未置換のフェニル基、又はフェニル基であってハロゲン原子、-SH、炭素原子数1〜4のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基もしくは-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)によってモノ-又はポリ置換された基を表わすか、又は、2-ベンゾチアジル基、2-ベンズイミダゾリル基、-CH2CH2-O-CH2CH2-SH又は-CH2CH2-S-CH2CH2-SHを表わし;R7及びR8は、互いに独立して水素原子、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数2〜4のアルキル基であって-OH、-SH、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、-CNもしくは-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)によって置換された基を表わすか、又は互いに独立して炭素原子数3〜5のアルケニル基、シクロヘキシル基、フェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)、未置換のフェニル基、又はフェニル基であって炭素原子数1〜12のアルキル基もしくはハロゲン原子によってモノ-又はポリ置換された基を表わすか、又は、R7及びR8は一緒になって炭素原子数2〜7のアルキレン基又は-O-、-S-もしくは-N(R14)-によって中断さた炭素原子数2〜7のアルキレン基を表わし;R9は、水素原子、炭素原子数1〜12のアルキル基、又は-OH、-SHもしくはHS-(CH2)m-COO-(但し、mは1〜2の整数)で置換された炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数2〜12のアルキル基であって-O-、-NH-もしくは-S-によって中断された基、炭素原子数3〜5のアルケニル基、フェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)、-CH2CH2CN、未置換もしくはOH-もしくはSH-で置換された炭素原子数1〜4のアルキル-CO-CH2CH2-基、未置換もしくはOH-もしくはSH-で置換された炭素原子数2〜8のアルカノイル基、又はベンゾイル基を表わし;R10は、炭素原子数1〜4のアルキル基、炭素原子数2〜4のアルケニル基又はフェニル基を表わし;R11及びR12は、互いに独立して炭素原子数1〜4のアルキル基又はフェニル基を表わし;R13は、炭素原子数1〜18のアルキル基、フェニル基又は炭素原子数1〜14のアルキル基によって置換されたフェニル基を表わし;R14は、直鎖もしくは枝分れ鎖の炭素原子数2〜16のアルキレン基又は1〜6個の-O-もしくは-S-によって中断された直鎖もしくは枝分れ鎖の炭素原子数2〜16のアルキレン基、又はこれらのアルキレン基が1〜5個の-SH基によって置換された直鎖もしくは枝分れ鎖のアルキレン基を表わす。但し、前記した基Ar、R1、R2、R3、R4又はYのうち少なくとも一つは1〜5個の-SH基によって置換されているか、又はYは少なくとも一つの-SS-基を含む。)

G03F 7/031 , C08F 2/50 , C08F290/04 , C08F290/06 , G03F 7/027 501 , G03F 7/027 511 , G03F 7/029 , H05K 3/06 , H05K 3/18

G03F 7/031 , C08F 2/50 , C08F290/04 , C08F290/06 , G03F 7/027 501 , G03F 7/027 511 , G03F 7/029 , H05K 3/06 H , H05K 3/18 D

2H025AA02 , 2H025AA13 , 2H025AA14 , 2H025AB15 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC32 , 2H025BC34 , 2H025BC38 , 2H025BC42 , 2H025BC43 , 2H025BC85 , 2H025CA01 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J011AA05 , 4J011QA03 , 4J011QA06 , 4J011QA13 , 4J011QA17 , 4J011QA18 , 4J011QA23 , 4J011QA24 , 4J011QA26 , 4J011QA32 , 4J011QA34 , 4J011QA42 , 4J011QB03 , 4J011QB16 , 4J011QB20 , 4J011QB22 , 4J011SA02 , 4J011SA03 , 4J011SA15 , 4J011SA16 , 4J011SA17 , 4J011SA22 , 4J011SA32 , 4J011SA34 , 4J011SA63 , 4J011SA64 , 4J011SA76 , 4J011SA84 , 4J011TA03 , 4J011TA04 , 4J011TA05 , 4J011UA01 , 4J011UA02 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J027AA02 , 4J027AC03 , 4J027AC04 , 4J027AC06 , 4J027AE02 , 4J027AE03 , 4J027AE04 , 4J027AE05 , 4J027AE07 , 4J027BA07 , 4J027BA08 , 4J027BA19 , 4J027BA20 , 4J027BA21 , 4J027BA24 , 4J027BA26 , 4J027BA28 , 4J027CB10 , 4J027CC05 , 4J027CC07 , 4J027CD10 , 5E339AD01 , 5E339AD03 , 5E339BC02 , 5E339BD06 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE12 , 5E339CE19 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339DD02 , 5E339GG01 , 5E343CC62 , 5E343CC65 , 5E343GG08 , 5E343GG20