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J-GLOBAL ID：200903066127273819

マイクロレンズアレイ、その製造方法及びその製造用原盤並びに光学装置

Inventor： 吉澤 睦美 ,  西川 尚男 ,  高桑 敦司
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 井上 一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000397014
Publication number (International publication number)：2002192534
Application date： Dec. 27, 2000
Publication date： Jul. 10, 2002
Summary：

【要約】【課題】 他の部材との位置合わせを精度よく行うことができるマイクロレンズアレイ、その製造方法及びその製造用原盤並びに光学装置を提供することである。【解決手段】 マイクロレンズアレイの製造方法は、原盤10の、レンズ形成パターン12とマーク形成パターン14と、が形成された面上に光透過性層前駆体38を設け、レンズ形成パターン12及びマーク形成パターン14の形状を光透過性層前駆体38に転写し、光透過性層前駆体38からなる光透過性層30を、原盤10から剥離することを含む。

Claim (excerpt)：

原盤の、レンズ形成パターンとマーク形成パターンと、が形成された面上に光透過性層前駆体を設け、前記レンズ形成パターン及び前記マーク形成パターンの形状を前記光透過性層前駆体に転写し、前記光透過性層前駆体からなる光透過性層を、前記原盤から剥離することを含むマイクロレンズアレイの製造方法。

IPC (10)：

B29C 39/02 ,  B29C 39/10 ,  B29C 39/26 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/00 ,  G02F 1/1335 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 9/00 ,  B29K 33:04 ,  B29L 11:00

FI (10)：

B29C 39/02 ,  B29C 39/10 ,  B29C 39/26 ,  G02B 3/00 A ,  G02B 5/00 B ,  G02F 1/1335 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 9/00 Z ,  B29K 33:04 ,  B29L 11:00

F-Term (42)：

2H042AA09 ,  2H042AA15 ,  2H042AA26 ,  2H042AA29 ,  2H091FA17Z ,  2H091FA26X ,  2H091FA29Z ,  2H091FA35Y ,  2H091FA41Z ,  2H091GA13 ,  2H091MA07 ,  2H097GA45 ,  2H097KA03 ,  2H097KA11 ,  2H097LA17 ,  4F202AA21 ,  4F202AA44 ,  4F202AD04 ,  4F202AD05 ,  4F202AH75 ,  4F202CA01 ,  4F202CB01 ,  4F202CB12 ,  4F202CK11 ,  4F202CK28 ,  4F204AA21 ,  4F204AA44 ,  4F204AB04 ,  4F204AD04 ,  4F204AD05 ,  4F204AD09 ,  4F204AG05 ,  4F204AH75 ,  4F204EA03 ,  4F204EA04 ,  4F204EB11 ,  4F204EB25 ,  4F204EK17 ,  4F204EK18 ,  4F204EK24 ,  4F204EW02 ,  4F204EW34