感光性組成物及びそれを用いて得られる焼成物パターン

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)： ▲吉▼田繁喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998063901
Publication number (International publication number)：1999249301
Application date： Mar. 02, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】焼成後のパターンのよれや線幅収縮等の問題もなく、フォトリソグラフィー技術により容易に高精細の導電パターン、ガラス質誘電体パターン、蛍光体パターンなどの焼成物パターンを形成できるアルカリ現像型の感光性組成物及びそれにより得られる焼成物パターンを提供する。【解決手段】組成物は、(A)水酸基含有ポリマー(a)に多塩基酸無水物(b)を反応させて得られるカルボキシル基含有ポリマー、又は(F)該カルボキシル基含有ポリマー(A)にグリシジル基と不飽和二重結合を有する化合物(c)を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性ポリマー、(B)希釈剤、(C)光重合開始剤、(D)無機粉体、及び好ましくは(E)安定剤を含有する。この感光性組成物を基板上に塗布した後、所定のパターン通りに露光し、アルカリ水溶液により現像した後、焼成することにより、高精細の焼成物パターンを形成できる。

Claim (excerpt)：

(A)水酸基含有ポリマー(a)に多塩基酸無水物(b)を反応させて得られるカルボキシル基含有ポリマー、(B)反応性希釈剤、(C)光重合開始剤、及び(D)無機粉体を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (3)：

G03F 7/027 515 , H01B 3/30 , H01J 9/02

FI (3)：

G03F 7/027 515 , H01B 3/30 Z , H01J 9/02 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (23)

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント及びめっきレジストの製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-082569 Applicant：日立化成工業株式会社
樹脂組成物、そのフィルム及びその硬化物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-215960 Applicant：日本化薬株式会社
水溶性感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-157148 Applicant：東京応化工業株式会社

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