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J-GLOBAL ID：200903066161295953

ランガサイト型酸化物単結晶ウェハの製造方法

Inventor： 福山 博
Applicant, Patent owner： 日本ビクター株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000368642
Publication number (International publication number)：2002173398
Application date： Dec. 04, 2000
Publication date： Jun. 21, 2002
Summary：

【要約】【課題】 NOxなどの有害ガスを発生することなく、表面のうねりや局所的な深い凹凸の発生を抑え、反りの少ないウエハを容易に得ることのできるランガサイト型酸化物単結晶ウエハの製造方法を提供する。【解決手段】 インゴット1Bをスライスして所定厚さのウエハ10を切り出す工程と、前記ウエハ10の両面を研磨する工程と、前記両面研磨された前記ウエハ10Aの表面をポリッシングして鏡面に加工した後、前記鏡面を有する前記ウエハ10Cを1000°C以下の温度で熱処理する工程、あるいは、前記両面研磨された前記ウエハ10Aを1000°C以下の温度で熱処理した後、前記熱処理された前記ウエハ10Dの表面をポリッシングして鏡面にする工程とを有する。

Claim (excerpt)：

ランガサイト型酸化物単結晶のインゴットよりウエハを得るランガサイト型酸化物単結晶ウエハの製造方法において、前記インゴットをスライスして所定厚さの前記ウエハを切り出す工程と、前記ウエハの両面を研磨する工程と、前記両面研磨された前記ウエハの表面をポリッシングして鏡面に加工した後、前記鏡面を有する前記ウエハを1000°C以下の温度で熱処理する工程、あるいは、前記両面研磨された前記ウエハを1000°C以下の温度で熱処理した後、前記熱処理された前記ウエハの表面をポリッシングして鏡面にする工程とを有することを特徴とするランガサイト型酸化物単結晶ウエハの製造方法。

IPC (3)：

C30B 29/34 ,  C30B 33/02 ,  H01L 21/304 622

FI (3)：

C30B 29/34 Z ,  C30B 33/02 ,  H01L 21/304 622 W

F-Term (5)：

4G077AA02 ,  4G077BD15 ,  4G077FE03 ,  4G077FG11 ,  4G077HA11