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J-GLOBAL ID：200903066174335873

露光装置

Inventor： 早田 滋 ,  折井 誠司
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994320039
Publication number (International publication number)：1996179513
Application date： Dec. 22, 1994
Publication date： Jul. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】 簡便且つ短時間に照度むらを求め、必要であれば照度むらを補正する。【構成】 レチクルの無い状態で照度むらの補正を行った後に、回路パターンの描かれた実レチクルを光路に挿入する(ステップ1)。測定用光透過部に対応するウエハ上の位置での照度を測定する(ステップ2)。演算部で照度が均一であるか、否かある許容値をもって判定し(ステップ3)、YESの場合はこのフローを終了し、NOの場合は各測定点の照度の量的関係から、照度むら補正部材の選定とその駆動量及び方向を算出する(ステップ4)。演算部の命令に従い照度むら補正部材を駆動し、再びステップ2に戻る。

Claim (excerpt)：

被露光面の複数の測定点の照度を測定する照度測定手段を有する露光装置において、転写パターンが形成されたマスクの少なくとも1ケ所に露光光を透過する光透過部を設け、前記マスクを前記露光光の光路中の所定の位置に載置し、前記転写パターン部と前記光透過部を露光光により同時に照明し、前記光透過部を透過した前記露光光の照度を前記被露光面の複数の測定点で測定し、その結果得られた測定値により、前記マスクの転写パターンに対応する被露光面上の照度むらを検出することを特徴とする露光装置。

IPC (3)：

G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027