マイクロ磁気ツールの製造方法及びマイクロ磁気ツールデバイスの製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006357260
Publication number (International publication number)：2008148677
Application date： Dec. 16, 2006
Publication date： Jul. 03, 2008
Summary：

【課題】従来のバイオチップ内で使用される磁気ツールは金属製であり、機械加工の限界より精密形状のマイクロ磁気ツールの作成は困難であり、また磁気ツールに柔軟性をもたせることは困難であった。【解決手段】本発明は硬化性樹脂と磁性微粒子を混合し、リソグラフィー技術で微細加工された型に流して固めることにより、多様な形状をマイクロスケールで量産することが可能になった。この技術により磁気駆動の回転子、併進運動を行うバルブ、細胞などの微粒子の送り出し機構など多岐な形状・機能を持つマイクロスケールの磁気ツールやマイクロ磁気アクチュエーターが製作可能になる。この磁気ツールは樹脂の特性、種類や混合濃度変化で柔軟性をもたせることが可能であり、硬さを変えることが可能である。また表面コーティング処理を行うことで、硬化性樹脂もしくはガラスもしくはプラスチック製流路内において、磁気ツールが流路などに付着することを防止することが可能である。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

フォトリソグラフィ技術によって複雑形状のパターンを型に転写し、そこに硬化性樹脂もしくはゲルと磁性微粒子の混合物を塗布し作成されるマイクロ磁気ツールの作成方法であって、(a)シリコンウェハなどの基板上のフォトレジストにパターンが転写された型に硬化性樹脂を流し込んで型を作成し、その型の表面を付着防止のためにプラズマ活性化及びポリエチレングリコールもしくは界面活性剤等により処理する準備工程と、(b)前記硬化性樹脂の型に硬化性樹脂もしくはゲルと磁性微粒子の混合物を塗布し、加熱、光照射もしくは自然放置させて硬化後に磁気ツールを取り出す製造工程を有することを特徴とするマイクロ磁気ツールの製造方法。

IPC (6)：

C12M 1/00 , C12M 1/34 , B01F 13/08 , G01N 37/00 , B81C 1/00 , B81C 5/00

FI (6)：

C12M1/00 A , C12M1/34 A , B01F13/08 Z , G01N37/00 101 , B81C1/00 , B81C5/00

F-Term (20)：

3C081BA06 , 3C081BA25 , 3C081BA50 , 3C081BA51 , 3C081CA23 , 3C081CA32 , 3C081CA38 , 3C081CA40 , 3C081DA46 , 3C081EA29 , 3C081EA32 , 3C081EA33 , 4B029AA08 , 4B029AA23 , 4B029BB01 , 4B029CC01 , 4B029GA08 , 4B029GB09 , 4B029GB10 , 4G036AC24

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

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Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-149903 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所, 国立大学法人大阪大学, 国立大学法人名古屋大学, 独立行政法人農業・食品産業技術総合研究機構, 川崎重工業株式会社, 富士平工業株式会社

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