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J-GLOBAL ID：200903066198125527

表面検査装置

Inventor：
落合 誠

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千星 淳

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仏円 隆

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成瀬 克彦

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平野 正三

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平澤 泰治

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Applicant, Patent owner：
株式会社東芝

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東芝エンジニアリング株式会社

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Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998351440
Publication number (International publication number)：2000180418
Application date： Dec. 10, 1998
Publication date： Jun. 30, 2000
Summary：
【要約】【課題】本発明は、計測対象の表面における欠陥の有無とその寸法を、非接触かつ非破壊で高精度に検出することのできる表面検査装置を提供する。【解決手段】計測対象のある部分に非接触で表面波を励起する表面波送信手段10と、予め送信位置に対して既知の位置に設置された1個の表面波受信要素から成り、計測対象の表面を伝播した表面波および欠陥個所で表面波が反射、透過、回折または散乱されることによって発生する欠陥波のうち表面波あるいは表面波と欠陥波の両方を非接触で検出する表面波受信手段14と、表面波受信手段の出力信号から欠陥の有無あるいはその深さ、あるいはその両方を検知する欠陥検知手段17と、表面波受信要素の出力信号に含まれる欠陥波成分から欠陥の有無と深さに加えてその位置を同定する欠陥同定手段17と、表面波成分の伝播時間から表面波の音速を校正する音速校正手段17と構成される。
Claim (excerpt)：
計測対象のある部分に非接触で表面波を励起する表面波送信手段と、予め送信位置に対して既知の位置に設置された1個の表面波受信要素から成り、前記計測対象の表面を伝播した前記表面波および前記計測対象表面に欠陥があった場合には、欠陥個所で前記表面波が反射、透過、回折または散乱されることによって発生する欠陥波のうち、前記表面波、あるいは前記表面波と前記欠陥波の両方を非接触で検出する表面波受信手段と、前記表面波受信手段の出力信号から前記欠陥の有無、あるいはその深さ、あるいはその両方を検知する欠陥検知手段と、前記表面波受信要素の出力信号に含まれる前記欠陥波成分から前記欠陥の有無と深さに加えてその位置を同定する欠陥同定手段と、表面波成分の伝播時間から前記表面波の音速を校正する音速校正手段とで構成される表面検査装置。
IPC (2)：
G01N 29/00 501 ,  G01B 11/30
FI (2)：
G01N 29/00 501 ,  G01B 11/30 G
F-Term (36)：
2F065AA04 ,  2F065AA14 ,  2F065AA25 ,  2F065AA49 ,  2F065AA54 ,  2F065DD02 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065EE06 ,  2F065FF22 ,  2F065FF32 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065GG05 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065KK03 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL57 ,  2F065NN08 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ44 ,  2F065UU07 ,  2G047BC02 ,  2G047BC08 ,  2G047BC10 ,  2G047CA02 ,  2G047CA04 ,  2G047CB03 ,  2G047EA10 ,  2G047GD01 ,  2G047GG30 ,  2G047GJ21
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (6)
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