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J-GLOBAL ID：200903066199760323

ポジ型レジスト組成物並びにそれを用いるカラーフィルターの製造方法

Inventor： 日城 良樹 ,  竹山 尚幹 ,  山本 茂樹
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 久保山 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992192140
Publication number (International publication number)：1994035183
Application date： Jul. 20, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 解像度及び耐熱性等の諸性能に優れたポジ型レジスト組成物、並びに工程管理等の容易なカラーフィルターの製造方法を提供する。【構成】 酸により硬化しうる樹脂、キノンジアジド化合物、架橋剤、光酸発生剤、染料及び溶剤を含有してなるポジ型レジスト組成物、並びに該ポジ型レジスト組成物を基体上に塗布後、マスクを通して露光し、該露光部を現像・除去してポジ型着色画像を形成させ、次いで、未露光部である上記着色画像を全面露光して硬化させることからなるカラーフィルターの製造方法。

Claim (excerpt)：

酸により硬化しうる樹脂、キノンジアジド化合物、架橋剤、光酸発生剤、染料及び溶剤を含有してなるポジ型レジスト組成物。

IPC (3)：

G03F 7/022 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505