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J-GLOBAL ID：200903066211660259

感光性ペースト

Inventor： 正木 孝樹 ,  井口 雄一朗 ,  堀内 健
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998091361
Publication number (International publication number)：1998333324
Application date： Apr. 03, 1998
Publication date： Dec. 18, 1998
Summary：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、厚さ50μmあたりのg線波長領域での全光線透過率が50%以上であることを特徴とする感光性ペーストによって達成される。また、無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、厚さ50μmあたりのg線波長領域での直進透過率が50%以上であることを特徴とする感光性ペーストによって達成される。

Claim (excerpt)：

無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、塗布膜厚50μmで測定した場合のg線波長領域での全光線透過率が50%以上であることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (11)：

G03F 7/004 501 ,  C09D 5/00 ,  C09D 5/32 ,  C09D 7/12 ,  C09D 17/00 ,  C09D201/02 ,  C09D201/08 ,  G02F 1/1343 ,  G03F 7/027 ,  H01J 9/02 ,  H01J 17/04

FI (11)：

G03F 7/004 501 ,  C09D 5/00 C ,  C09D 5/32 ,  C09D 7/12 Z ,  C09D 17/00 ,  C09D201/02 ,  C09D201/08 ,  G02F 1/1343 ,  G03F 7/027 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 17/04