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J-GLOBAL ID：200903066226715785
ポリシラン系感光性樹脂組成物およびそれを用いるパターン形成方法
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青山 葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993262287
Publication number (International publication number)：1995114188
Application date： Oct. 20, 1993
Publication date： May. 02, 1995
Summary：
【要約】【構成】 式【化1】[式中、R1、R2、R3およびR4は置換もしくは無置換の脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基および芳香族炭化水素基からなる群からそれぞれ独立して選択される基であり、そしてmおよびnは整数である。]で示される構造のポリシラン、光ラジカル発生剤および酸化剤を含有する感光性樹脂組成物。【効果】 ポリシランの光分解に対する感度が向上し、光分解に要する時間が短い感光性樹脂組成物が提供された。
Claim (excerpt)：
式【化1】[式中、R1、R2、R3およびR4は置換もしくは無置換の脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基および芳香族炭化水素基からなる群からそれぞれ独立して選択される基であり、そしてmおよびnは整数である。]で示される構造のポリシラン、光ラジカル発生剤および酸化剤を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (5)：
G03F 7/075 511
, G03C 1/675
, G03F 7/004 503
, G03F 7/38 512
, H01L 21/027
H01L 21/30 502 R
, H01L 21/30 568
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