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J-GLOBAL ID：200903066239310423
薄型基板搬送ロボット
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
飯田 昭夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998077855
Publication number (International publication number)：1999277467
Application date： Mar. 25, 1998
Publication date： Oct. 12, 1999
Summary：
【要約】【課題】 二つの第1アームの共通化及び内部構造の簡素化等を図ること。【解決手段】 ベースアーム2は、機台1の上方に配され、長手方向中央位置を中心として水平面上を双方向に回転可能とされる。機台1の内部には、ベースアーム2の長手方向中央位置に直結されるベースアーム用駆動装置3が配設される。第1リンク体6の第1アーム4の元部には、第1リンク体駆動時にベースアーム2の回転方向と逆方向に二倍の回転速度で第1アーム4を回転させる第1アーム用駆動装置11が直結される。第2リンク体10の第2アーム7の元部には、第2リンク体駆動時にベースアーム2の回転方向と逆方向に二倍の回転速度で第2アーム7を回転させる第2アーム用駆動装置12が直結される。
Claim (excerpt)：
機台と、前記機台の上方に配され、長手方向中央位置を中心として水平面上を双方向に回転可能なベースアームと、前記ベースアームの長手方向中央位置に直結され、前記機台の内部に配設されるベースアーム用駆動装置と、前記ベースアームの一方の先端部に延設され元部を中心として水平面上を回転可能な第1アームと、該第1アームの先端部に延設され元部を中心として水平面上を回転可能な薄型基板保持用第1ハンドとからなり、前記第1アームの回転中心位置から前記第1ハンドの回転中心位置までの水平距離が前記ベースアームの回転中心位置から前記第1アームの回転中心位置までの水平距離と一致する第1リンク体と、前記ベースアームの他方の先端部に延設され元部を中心として水平面上を回転可能な第2アームと、該第2アームの先端部に延設され元部を中心として水平面上を回転可能な薄型基板保持用第2ハンドと、前記第1ハンドに保持される薄型基板と当該第2リンク体との衝突を回避するための干渉防止部材とからなり、前記第2アームの回転中心位置から前記第2ハンドの回転中心位置までの水平距離が前記ベースアームの回転中心位置から前記第2アームの回転中心位置までの水平距離と一致する第2リンク体と、前記第1アームの元部に直結され、第1リンク体駆動時に前記ベースアームの回転方向と逆方向に前記第1アームを回転させる第1アーム用駆動装置と、前記第2アームの元部に直結され、第2リンク体駆動時に前記ベースアームの回転方向と逆方向に前記第2アームを回転させる第2アーム用駆動装置と、前記第1アームの内部に配設され、第1リンク体駆動時に前記ベースアームの回転方向と同一方向に前記第1ハンドを回転させる第1ハンド用駆動装置と、前記第2アームの内部に配設され、第2リンク体駆動時に前記ベースアームの回転方向と同一方向に前記第2ハンドを回転させる第2ハンド用駆動装置と、を備えることを特徴とする薄型基板搬送ロボット。
IPC (2)：
FI (2)：
B25J 9/06 D
, H01L 21/68 A
