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J-GLOBAL ID：200903066253389970

透明導電膜とその製造方法およびそれに用いるターゲット

Inventor： 杉原 忠 ,  町野 毅
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 佐藤 隆久 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992355858
Publication number (International publication number)：1994128743
Application date： Dec. 18, 1992
Publication date： May. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 プラズマ耐性に優れ、表面に何らかの機能薄膜がプラズマCVD法などで成膜されたとしても、材質の劣化がほとんどなく、透明性に優れ、低抵抗で、経済性に優れた透明導電膜およびその製造方法とそれに用いるターゲットを提供すること。【構成】 酸化亜鉛系の透明導電膜(4,12)であり、Alが0.4〜4.5原子%含まれ、かつV,Nb,Ta,Mo,W,Reのうちの一種以上が0.03〜1.0原子%含まれる。この透明導電膜を製造するには、V,Nb,Ta,Mo,W,Reのうちの一種以上の酸化物を0.1〜3重量%含有し、アルミニウム酸化物を0.5〜6重量%含有する酸化亜鉛系焼結体をターゲットとして、マグネトロンスパッタリング法を行い、基板上に、酸化亜鉛系の透明導電膜を成膜する。

Claim (excerpt)：

酸化亜鉛系の透明導電膜であり、Alが0.4〜4.5原子%含まれ、かつV,Nb,Ta,Mo,W,Reのうちの一種以上が0.03〜1.0原子%含まれる透明導電膜。

IPC (10)：

C23C 14/35 ,  C03C 4/14 ,  C04B 41/87 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 503 ,  H01L 21/285 ,  H01L 29/40 ,  H01L 31/04