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J-GLOBAL ID：200903066308098709

高密度フッ化アルミニウム焼結体及びその製造方法

Inventor： 大嶋 一之 ,  井村 浩一 ,  島井 駿蔵 ,  杉山 滋子
Applicant, Patent owner： 東芝セラミックス株式会社
Agent (1)： 赤野 牧子 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994248698
Publication number (International publication number)：1996091932
Application date： Sep. 16, 1994
Publication date： Apr. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】 各種構造部材として使用可能で、特に、半導体製造装置の構成部材としても好適な高耐食性で、且つ、低発塵性の新たな素材の提案。【構成】 相対密度が90%以上であり、酸素以外の不純物含有量が元素基準で100ppm以下であることを特徴とする高密度フッ化アルミニウム焼結体。相対密度が90%以上のフッ化アルミニウム焼結体は、(1)粒度分布0.1〜100μmのフッ化アルミニウム原料粉末を調製する工程、(2)前記フッ化アルミニウム原料粉末を成形する工程、及び、(3)成形体を不活性ガス雰囲気下で900〜1500°Cで加圧焼成して焼結する焼結工程から製造される。この場合、加圧焼結は、ホットプレス法またはホットアイソスタティックプレス法で行うのが好ましい。

Claim (excerpt)：

相対密度が90%以上であり、酸素以外の不純物含有量が元素基準で100ppm以下であることを特徴とする高密度フッ化アルミニウム焼結体。

IPC (2)：

C04B 35/553 ,  C01F 7/50