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J-GLOBAL ID：200903066314145417

電気的に調整可能な光学的フィルタ

Inventor： レート,アリ ,  ブロムベルグ,マルッティ ,  トルッケリ,アルッティ
Applicant, Patent owner： ヴァルション テクニッリネン トゥトキムスケスクス
Agent (1)： 岡部 正夫 (外13名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998516268
Publication number (International publication number)：2001525075
Application date： Oct. 03, 1997
Publication date： Dec. 04, 2001
Summary：

【要約】本発明は、シリコンの精密機械技術を使用して作った層状構造体を持つ、電気的に制御可能な光学的干渉計フィルタに関する。フィルタは、本質的に平らな基盤(1)と、上記基盤(1)の上に形成された第一のミラー素子(15)、および上記第一のミラー素子上の重畳された第二のミラー素子(12、17)と、約n・λ/2(但し、n=1、2、3)の光学的長さを持つ、上記ミラー素子(15、17)の間に形成された光学的共振凹部(10)とを備える。本発明によれば、上記第二のミラー素子(12、17)上に、さらに、第三のミラー素子(16)が形成され、上記第三のミラー素子(16)と上記第二のミラー素子(12、17)の間に、n・λ/2(但し、n=1、2、3)光学的長さを持つ第二の光学的凹部(10)が形成される。

Claim (excerpt)：

シリコン精密機械技術を使用して作られた層状の構造体を持つ、電気的に 制御可能な光学的干渉計フィルタであって、該干渉計フィルタは、 本質的に平らな基盤(1)と、 前記基盤1の上に形成された第一のミラー素子(15)、および前記第一 のミラー素子上の重畳された第二のミラー素子(17)と、 約n・λ/2(但し、n=1、2、3)の光学的長さを持つ、前記ミラー 素子(15、17)の間に形成された光学的共振器凹部(10)とを備え、 第二のミラー素子(17)の上に、さらに、第三のミラー素子(16)が 形成されることと、 前記第三のミラー素子(16)と、前記第二のミラー素子(17)との間 にn・λ/2(但し、n=1、2、3)の光学的長さを持つ第二の光学的共 振凹部(10)が形成されることとを特徴とする光学的フィルタ。

IPC (3)：

G02B 5/28 ,  G01J 3/26 ,  G02B 26/00

FI (3)：

G02B 5/28 ,  G01J 3/26 ,  G02B 26/00