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J-GLOBAL ID:200903066325478957
レーザ加工用エネルギー分割装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
佐藤 成示 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993129793
Publication number (International publication number):1994339786
Application date: May. 31, 1993
Publication date: Dec. 13, 1994
Summary:
【要約】【目的】 エネルギーロスが少なく、温度上昇の影響がなく、しかも、エネルギー分割の調整が容易できるようにする。【構成】 分割光学系は、コリメートレンズ11を通った断面略円状のレーザ光の断面を分割して複数のレーザ光に分割するミラー系14を有し、かつそのミラー系14をコリメートレンズ11を通ったレーザ光の光軸に対して垂直な方向に微動させる調整手段の操作部20aを装置の外部に設けてなるとともに、複数のアパーチャ13が、円形の断面が前記断面を分割された複数のレーザ光の断面形状の略重心にくるよう配設されている。
Claim (excerpt):
レーザ発振器から出力されたレーザ光を導く入射用光ファイバと、この入射用光ファイバから出たレーザ光を平行光とするコリメートレンズと、レーザ光を分割する分割光学系と、分割されたレーザ光を絞る複数のアパーチャと、コリメートレンズより短い焦点距離をもち前記入射用光ファイバと同じコア径を有する複数の出射用光ファイバにレーザ光を集光させるための複数の集光レンズと、を備えたレーザ加工用エネルギー分割装置において、前記分割光学系は、前記コリメートレンズを通った断面略円状のレーザ光の断面を分割して複数のレーザ光に分割するミラー系を有し、かつそのミラー系をコリメートレンズを通ったレーザ光の光軸に対して垂直な方向に微動させる調整手段の操作部を装置の外部に設けてなるとともに、前記複数のアパーチャは、円形の断面が前記断面を分割された複数のレーザ光の断面形状の略重心にくるよう配設されてなることを特徴とするレーザ加工用エネルギー分割装置。
IPC (2):
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