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J-GLOBAL ID：200903066337758068
位相格子の表面の検査方法および検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石井 康夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997224824
Publication number (International publication number)：1999064159
Application date： Aug. 21, 1997
Publication date： Mar. 05, 1999
Summary：
【要約】【課題】 位相格子の表面の異常点の位置および大きさの検出精度を高くすることができる位相格子の表面の検査装置を提供する。【解決手段】 位相格子1をホルダー2に取り付けて、XYステージ3,Zステージ4で位置を調整し、暗視野照明用の光源5,6で照明する。それを側方よりCCDカメラで観測する。暗視野照明用光源5の場合は、位相格子1の溝方向に対して直角で、かつ、位相格子の表面に対して斜めの方向からの照明であり、位相格子のパタ-ンがある部分とない部分の領域を容易に区別し観察することができ、キズやゴミ等の異常点の位置を検出できる。暗視野照明用光源6の場合は、位相格子の配列方向に対して直角で、かつ、位相格子の表面に対して斜めの方向からの照明であり、異常点の大きさを検出できる。
Claim (excerpt)：
位相格子の溝方向に対して直角で、かつ、該位相格子の表面に対して斜めの方向からの暗視野照明を行ない、表面の画像から位相格子面上の異常点の位置を検出し、前記位相格子の配列方向に対して直角で、かつ、前記位相格子の表面に対して斜めの方向からの暗視野照明を行ない、表面の画像から異常点の大きさを検出することを特徴とする位相格子の表面の検査方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01M 11/00 T
, G01B 11/02 H
