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J-GLOBAL ID：200903066354893750

プラズマ発生装置およびその動作方法

Inventor： 林 茂則 ,  寺本 聡 ,  伊藤 健二 ,  山崎 舜平
Applicant, Patent owner： 株式会社半導体エネルギー研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994013962
Publication number (International publication number)：1995211654
Application date： Jan. 12, 1994
Publication date： Aug. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】 簡単な排気装置を用いたプラズマ発生装置において、大面積にプラズマを発生させる。【構成】 同軸円筒状に構成された外側電極13と中心電極11、さらにそれら電極の隙間に挿入された絶縁物13を有し、放電部分15において5〜150Torrの中圧力で放電を行ないプラズマを発生される。この際、ガスとしてヘリウムやアルゴン等の希ガスを用いることにより、効果的にプラズマを発生させる。そしてこのプラズマを用いて成膜やエッチング等の各種プラズマ処理を行う。

Claim (excerpt)：

導電体で構成された電極を同心円筒状に配し、該電極の隙間に円筒状絶縁体を同心円となるようにまた、外側電極と内側電極との隙間に挿入し、該絶縁体と中心電極の隙間に稀ガスを主体とする気体を5〜150Torrの圧力状態で送流状態に保持し、前記電極間に交流電界を印加して前記稀ガスを主体とする気体を電離することにより電極間の隙間にプラズマを生ぜせしめることを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (5)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46