Pat
J-GLOBAL ID：200903066364655270
データ管理装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003026142
Publication number (International publication number)：2004241419
Application date： Feb. 03, 2003
Publication date： Aug. 26, 2004
Summary：
【課題】シューハート管理図においてアラーム規格を容易に設定する。【解決手段】品質管理方法は、品質管理データの平均値Xおよび標準偏差σを算出するステップ(S102)と、平均値X±4σの領域の外側の異常データを除外するステップ(S106)と、異常データを除外して算出された平均値Xと従来のターゲット値との乖離の度合いを標準偏差σを用いて算出するステップ(S108)と、乖離の度合いが大きいと基準値を算出された平均値に、乖離の度合いが小さいと基準値を従来のターゲット値にして、全データ数に対して、基準値±(2.5+0.1×N)σの領域の外側のデータ数の比率が0.015以下になるようにNを算出するステップと、算出されたNを用いて、基準値±(2.5+0.1×N)σをアラーム規格に設定するステップと、アラーム規格外のデータが出現すると品質警報情報を作成するステップとを含む。【選択図】 図4
Claim (excerpt)：
データを記憶するための記憶手段と、
前記データの中から異常データを排除した全体データについて、前記全体データの平均値X、標準偏差σおよびデータ数を算出するための第1の算出手段と、
従前の目標値と算出された平均値Xとの乖離の度合いを算出するための第2の算出手段と、
前記算出された乖離の度合いに基づいて、基準値を、前記従前の目標値および前記算出された平均値Xのいずれかに設定するための設定手段と、
前記全体データの中で、前記基準値を中心として前記標準偏差σの関数で定められる範囲の領域外にある部分データの数を算出するための第3の算出手段と、
前記全体データの数に対する前記部分データの数の比率が、予め定められた比率以下である領域を表わす標準偏差σの関数を算出するための第4の算出手段と、
前記算出された標準偏差σの関数に基づいて、測定されたデータを監視して、前記測定されたデータに対する警報を出力するための第1の出力手段とを含む、データ管理装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L21/02 Z
, G06F17/60 106
