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J-GLOBAL ID：200903066372316795

走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーチツプの作製方法

Inventor： 戸田 明敏
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992096404
Publication number (International publication number)：1993133740
Application date： Apr. 16, 1992
Publication date： May. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】探針部の及びレバー部の長さの揃った複数のカンチレバーチップを同時に作製する。【構成】走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーチップは、レバー部31と、レバー部31の自由端に配設される探針部32と、探針部32と反対側でレバー部31に配設されるミラー部34と、レバー部31の基端側を支持する支持部33とを具備する。レバー部31と支持部33との間に段差が形成され、探針部32が配設されている側のレバー部31の面よりも、支持部33が引込むように配置される。

Claim (excerpt)：

レバー部と、上記レバー部の自由端に配設される探針部と、上記レバー部の基端側を支持する支持部と、を具備する走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーチップの作製方法であって、エッチング停止層を挟んで配設された第1及び第2の半導体層を有するウェハをスタートウェハとして使用し、半導体製造プロセスによりカンチレバーチップを作製する方法。

IPC (4)：

G01B 21/30 ,  G01B 7/34 ,  G01N 19/08 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-297001
  
• 特開平3-075501
  
• 特開平2-218172
  
• 特開平2-271523