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J-GLOBAL ID：200903066387163146
半導体導波管フィルタ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
西野 卓嗣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993103003
Publication number (International publication number)：1994314909
Application date： Apr. 28, 1993
Publication date： Nov. 08, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は自己損失の少ない導波管フィルタを半導体にて構成することにより、MMIC化に適した小型且つ高性能な半導体導波管フィルタを提供することを目的とする。【構成】 本発明の半導体導波管フィルタは、動作周波数の半波長ごとに突壁4を有する溝部が形成された第1及び第2の半導体基板からなり、前記溝部及び突壁夫々が対峙するように前記第1及び第2の半導体基板を貼着した構成を採る。尚、第1の半導体基板のみに突壁を有する溝部を形成し、平板状の第2の半導体基板が前記第1の半導体基板上の溝部を施蓋するように両基板を貼着した構成としてもよい。
Claim (excerpt)：
動作周波数の半波長ごとに突壁を有する溝部が形成された第1及び第2の半導体基板からなり、前記溝部及び突壁夫々が対峙するように前記第1及び第2の半導体基板を貼着してなる半導体導波管フィルタ。
IPC (2)：
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