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J-GLOBAL ID：200903066401640971

固体撮像装置

Inventor： 織原 弘三
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 内原 晋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991197580
Publication number (International publication number)：1993048069
Application date： Aug. 07, 1991
Publication date： Feb. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】水平レジスタの転送チャネルの電位に影響を与えずに高速化と高密度化を実現する。【構成】ポリシリコン転送電極5,6とタングステンの中間層12a,12bとを転送チャネル上に設けた第1のコンタクト部8,9によって接続し、さらにこの中間層とアルミニウム配線層14a,14bとを転送チャネル上に設けた第2のコンタクト部10,11によって接続する。これにより実効的な電極抵抗を低減でき高速動作が実現できる。また、タングステンはポリシリコンおよびアルミニウムとは合金化しないため、転送チャネルの電位に変動を与えることはない。さらに、第1のコンタクト部と第2のコンタクト部とを同一の位置に設けることが可能となるため電極ピッチを小さくして高密度化を実現できる。

Claim (excerpt)：

ポリシリコン膜で形成された水平レジスタの転送電極が前記水平レジスタの転送チャネル上に設けられたアルミニウム配線層と高融点金属による中間層を介して接続されていることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (4)：

H01L 27/148 ,  H01L 21/90 ,  H01L 29/50 ,  H04N 5/335

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭56-087379
  
• 特開昭62-042522
  
• 特開昭62-061358