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J-GLOBAL ID：200903066428470199
ガルバノスキャナの制御方法およびガルバノスキャナ並びにレーザ加工機
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004043050
Publication number (International publication number)：2005234215
Application date： Feb. 19, 2004
Publication date： Sep. 02, 2005
Summary：
【課題】 揺動角度によらず、ミラーを高速で位置決めすることができるガルバノスキャナの制御方法及びガルバノスキャナ並びにこのようなガルバノスキャナによりレーザを照射してプリント基板に穴明けを行うレーザ加工機を提供すること。【解決手段】 指令信号215と現在位置242との偏差に基づいてミラーを揺動させるアクチュエータ110を動作させるため、揺動角度に応じたアクチュエータ110のゲイン変化を計測しておき、ゲイン変化をなくすように、アクチュエータ110の操作量を補正する。これにより、揺動角度に応じたトルク定数の変動の影響を抑えることができるので、走査領域全体で応答特性が一様になり、位置決め速度を向上させることができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
指令信号と現在位置との偏差に基づいてミラーを揺動させるアクチュエータを動作させ、前記ミラーに入射する光の出射角を制御するガルバノスキャナの制御方法において、
揺動角度に応じた前記アクチュエータのゲイン変化を計測する工程と、
前記ゲイン変化をなくすように、前記アクチュエータの操作量を補正する工程と、
を備えていることを特徴とするガルバノスキャナの制御方法。
IPC (3)：
G02B26/10
, B23K26/00
, B23K26/08
G02B26/10 104Z
, G02B26/10 A
, B23K26/00 M
, B23K26/08 B
2H045AB34
, 2H045AB44
, 2H045AB54
, 4E068CB01
, 4E068CD12
, 4E068CE03
Cited by applicant (3)
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レーザ加工方法およびレーザ加工機
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2000-333405
Applicant：日立ビアメカニクス株式会社
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スキャナおよびレーザ加工機
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2000-189848
Applicant：日立ビアメカニクス株式会社
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ガルバノスキャナの制御方法、装置、及び、ガルバノスキャナ
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2001-275330
Applicant：住友重機械工業株式会社
Cited by examiner (1)
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