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J-GLOBAL ID：200903066438112088
光学装置および露光装置やデバイス生産方法
Inventor：
,
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996204168
Publication number (International publication number)：1997106944
Application date： Jul. 16, 1996
Publication date： Apr. 22, 1997
Summary：
【要約】【課題】 投影光学系の倍率、収差、歪み等の光学特性を調整するための光学要素を高精度で光軸上を駆動する光学装置を、より軽量に、また、より小さな空間で実現する。【解決手段】 光学要素7を光軸方向へ移動させる駆動手段および案内手段を有する光学要素移動装置において、前記駆動手段を伸縮自在な流体封入手段4で構成し、前記案内を板ばね3で構成する。
Claim (excerpt)：
光学要素を光軸方向へ移動させる駆動手段および案内手段を有する光学装置において、前記駆動手段が伸縮自在な流体封入手段と、該流体封入手段の内部の流体の体積または圧力を制御する制御手段とを具備することを特徴とする光学装置。
IPC (4)：
H01L 21/027
, G02B 7/04
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
H01L 21/30 516 F
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68 F
, G02B 7/04 E
, H01L 21/30 516 A
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