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J-GLOBAL ID：200903066443683760

カセット識別方法

Inventor： 萱野 朋生
Applicant, Patent owner： 川崎製鉄株式会社
Agent (1)： 小林 英一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992169689
Publication number (International publication number)：1994013453
Application date： Jun. 26, 1992
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 工程間を搬送される半導体ウェーハを収納した多種類のカセットを迅速に識別する方法を提供する。【構成】 識別する方法であって、前記カセット1のフランジ部2に2進化10進法による識別コードを構成する穴群3a,3b,3c,3dを加工して配列することにより多種類の識別を可能にし、一方カセット1をハンドリングする搬送装置4のアーム5に識別センサ6を埋め込むことにより、カセット1をアーム5でハンドリングするときに、迅速に識別コードを読み取ることを可能にする。

Claim (excerpt)：

工程間を搬送される半導体ウェーハを収納したカセットを識別する方法であって、前記カセットのフランジ部に2進化10進法による識別コードを複数組穴明け加工して配列するとともに、前記カセットをハンドリングする搬送装置のアームに埋め込んだ識別センサで前記フランジ部の識別コードを読み取ることを特徴とするカセット識別方法。