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J-GLOBAL ID:200903066460926315
元素分析方法および元素分析装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
山川 政樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996350151
Publication number (International publication number):1997318542
Application date: Dec. 27, 1996
Publication date: Dec. 12, 1997
Summary:
【要約】【課題】 元素の分析を高感度かつ高精度に行うことができる元素分析方法および元素分析装置を提供することを目的とする。【解決手段】 プラズマトーチ2のプラズマ室2dは、先端に行くほど絞られた円錐台形状となっている。加えて、その周囲には高周波付加用のコールドコイル3が配置されている。そして、Arが供給されている状態でコールドコイル3により高周波(27.12MHz)を印加することで、プラズマ室2dではプラズマ4が発生する。
Claim (excerpt):
分析対象の試料を解離させることで生じた原子を用いて前記試料を分析する元素分析方法において、供給されるプラズマ源となるガスによるプラズマを先端ほど径が小さい形状を有するトーチ内で発生させ、前記ガスをキャリアとして前記試料を気化した試料気流または前記試料の成分を含む試料気流を前記プラズマに導き、前記試料気流または前記試料気流を含むプラズマをスパイラル気流にし、前記試料の成分を解離し、その解離により生じた原子の状態により前記試料の分析を行うことを特徴とする元素分析方法。
IPC (4):
G01N 21/73
, G01J 3/42
, G01N 1/28
, G01N 27/62
FI (4):
G01N 21/73
, G01J 3/42 Z
, G01N 27/62 G
, G01N 1/28 T
Patent cited by the Patent:
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