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J-GLOBAL ID：200903066466452226

ポジ型レジスト組成物

Inventor： 佐藤 健一郎
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001311568
Publication number (International publication number)：2003122007
Application date： Oct. 09, 2001
Publication date： Apr. 25, 2003
Summary：

【要約】【課題】 パターン倒れ、すそびき、スカムが軽減されたポジ型レジスト組成物を提供することである。更には、加えて現像欠陥が軽減されたポジ型レジスト組成物を提供すること。【解決手段】(A)脂環構造を有する酸分解性基を有する繰り返し単位、脂環ラクトン構造を有する繰り返し単位及び水酸基またはシアノ基を有する繰り返し単位を含有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂及び(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型レジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(A)下記一般式(I)で表される繰り返し単位、脂環ラクトン構造を有する繰り返し単位、一般式(II)で表される繰り返し単位を含有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂、及び、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型レジスト組成物。【化1】一般式(I)において、R1は水素原子又はメチル基を表し、Aは単結合又は連結基を表し、ALGは下記一般式(pI)〜一般式(pV)のいずれかを表す。【化2】式中、R11は、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基又はsec-ブチル基を表し、Zは、炭素原子とともに脂環式炭化水素基を形成するのに必要な原子団を表す。R12〜R16は、各々独立に、炭素数1〜4個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基又は脂環式炭化水素基を表す。但し、R12〜R14のうち少なくとも1つ、及びR15、R16のいずれかは脂環式炭化水素基を表す。R17〜R21は、各々独立に、水素原子、炭素数1〜4個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基又は脂環式炭化水素基を表し、但し、R17〜R21のうち少なくとも1つは脂環式炭化水素基を表す。また、R19、R21のいずれかは炭素数1〜4個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基又は脂環式炭化水素基を表す。R22〜R25は、各々独立に、炭素数1〜4個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基又は脂環式炭化水素基を表し、但し、R22〜R25のうち少なくとも1つは脂環式炭化水素基を表す。また、R23とR24は、互いに結合して環を形成していてもよい。【化3】一般式(II)においてRは水素原子又はメチル基を表す。A1は単結合又は二価の連結基を表す。A2は単結合、アルキレン基、エーテル基、エステル基、もしくはこれらの組み合わせからなる基を表す。Z2は置換基を有していてもよい炭素数5〜20の単環状シクロアルカン、下記一般式のノルボルナン、トリシクロデカン、又はテトラシクロドデカンを表す。【化4】p及びqは、各々独立に0〜5の整数を表す。lは0又は1を表す。A3は、単結合、アルキレン基、エーテル基、エステル基若しくはその組み合わせからなる基を表す。R’は水酸基又はシアン基を表す。mは1〜3の整数を表す。但し、l=0のとき、A2及びA3の少なくとも一方はアルキレン基、エーテル基、エステル基若しくはその組み合わせである。

IPC (5)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 20/18 ,  C08F 20/28 ,  C08F 20/34 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 20/18 ,  C08F 20/28 ,  C08F 20/34 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (52)：

2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100BA02P ,  4J100BA02R ,  4J100BA02S ,  4J100BA03P ,  4J100BA03R ,  4J100BA03S ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BA11S ,  4J100BA12P ,  4J100BA15P ,  4J100BA20P ,  4J100BA34P ,  4J100BA40P ,  4J100BA40R ,  4J100BA40S ,  4J100BA58P ,  4J100BC02P ,  4J100BC03P ,  4J100BC03R ,  4J100BC04P ,  4J100BC07P ,  4J100BC08P ,  4J100BC08R ,  4J100BC09P ,  4J100BC09S ,  4J100BC12P ,  4J100BC12R ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53S ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100FA19 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38