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J-GLOBAL ID：200903066476488679

光学的な開口の作製方法

Inventor： 笠間 宣行 ,  大海 学 ,  光岡 靖幸 ,  加藤 健二 ,  新輪 隆 ,  前田 英孝 ,  市原 進 ,  篠原 陽子
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 坂上 正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000367560
Publication number (International publication number)：2002168759
Application date： Dec. 01, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：

【要約】【課題】 本発明の課題は、簡便な方法で任意の開口サイズを有する微小開口を形成する方法を提供することである。【解決手段】錘状突起部と前記錘状突起部の近傍に配置された開口制御部と、少なくとも前記錘状突起部上に形成された遮光膜からなる被開口形成体に対して、前記錘状突起部および前記開口制御部の少なくとも1部を覆うような面を有する押し込み体を、前記錘状突起部に向かう成分を有する力によって変位させることによって前記錘状突起部の先端に光学的な開口を形成する。

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板に形成された所望の波長を透過する錘状突起部と、前記錘状突起部の近傍に配置された開口制御部と、少なくとも前記錘状突起部上に形成された遮光膜からなる被開口形成体に対して、前記錘状突起部および前記開口制御部の少なくとも一部を覆うような面を有する押し込み体を、前記錘状突起部に向かう成分を有する力により前記被開口形成体に押し当てることにより前記錘状突起部の先端に光学的な開口を形成することを特徴とする光学的な開口作製方法。

IPC (3)：

G01N 13/14 ,  B82B 3/00 ,  G12B 21/06

FI (3)：

G01N 13/14 B ,  B82B 3/00 ,  G12B 1/00 601 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 光学的開口を持つ錐状突起の作製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-365592   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 光プローブおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-087050   Applicant：三菱電機株式会社
• 特公平5-021201