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J-GLOBAL ID：200903066482075866

研磨液および研磨方法

Inventor： 鈴木 哲雄 ,  原 宣宏
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 小谷 悦司 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997312267
Publication number (International publication number)：1999140427
Application date： Nov. 13, 1997
Publication date： May. 25, 1999
Summary：

【要約】【課題】 うねり及び/又はヘイズ改善作用に優れた研磨液を提供する。【解決手段】 アルカリ成分およびコロイダルシリカを含む研磨液中に、炭素長鎖構造を有し、側鎖としてヒドロキシ低級アルコキシ基を有する鎖状炭化水素系高分子を、好ましくは0.003〜0.1重量%含有する研磨液である。

Claim (excerpt)：

アルカリ成分およびコロイダルシリカを含む研磨液中に、炭素長鎖構造を有し、側鎖としてヒドロキシ低級アルコキシ基を有する鎖状炭化水素系高分子を含有するものであることを特徴とする研磨液。

IPC (4)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (5)：

C09K 3/14 550 D ,  C09K 3/14 550 Z ,  B24B 37/00 H ,  B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 321 P