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J-GLOBAL ID：200903066491922920
強誘電体膜の製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
野河 信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994231786
Publication number (International publication number)：1996091841
Application date： Sep. 27, 1994
Publication date： Apr. 09, 1996
Summary：
【要約】【目的】 緻密で表面平滑性が良い強誘電体膜の製造方法を提供することを目的としている。【構成】 複合酸化物強誘電体を構成する金属元素の少なくとも1種のアルコキシドを含有する有機溶液と、複合酸化物強誘電体を構成する他の金属元素のアルコキシド又は塩もしくはその水和物を含有する有機溶液とをそれぞれ調製し、これらの溶液を混合した後、加温下に所定量の水を添加して前駆体溶液を調製し、該前駆体溶液を用いて強誘電体膜を形成させることからなる強誘電体膜の製造方法。
Claim (excerpt)：
複合酸化物強誘電体を構成する金属元素の少なくとも1種のアルコキシドを含有する有機溶液と、複合酸化物強誘電体を構成する他の金属元素のアルコキシド又は塩もしくはその水和物を含有する有機溶液とをそれぞれ調製し、これらの溶液を混合した後、加温下に所定量の水を添加して前駆体溶液を調製し、該前駆体溶液から強誘電体膜を形成させることからなる強誘電体膜の製造方法。
IPC (4)：
C01G 29/00
, B01J 19/00
, C04B 35/46
, H01B 3/12
