被検査体の表面性状検査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998196682
Publication number (International publication number)：2000009669
Application date： Jun. 26, 1998
Publication date： Jan. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】広範囲な極微小かつ極微弱なムラ状の表面性状の異常を容易に高感度で検出し面情報として記録できる表面性状検査装置の提供。【解決手段】冷却ステージ1上に載置した被検査体10の周囲雰囲気の露点を測定する露点計6と、前記周囲雰囲気の露点に対して被検査体10の温度を可変する冷却ステージ1を備えたことを特徴とし、また、冷却ステージ1上に載置した被検査体10を撮像するカメラ21を備えたことを特徴とし、さらには、冷却ステージ1上に載置した被検査体10の表面状態を検出することが可能な魔鏡の原理を用いた微小粗面検出装置21を備えたことを特徴とする被検査体の表面性状検査装置。

Claim (excerpt)：

冷却ステージ(1)上に載置した被検査体(10)の周囲雰囲気の露点を測定する露点計(6)と、前記周囲雰囲気の露点に対して被検査体(10)の温度を可変する冷却ステージ(1)を備えたことを特徴とする被検査体の表面性状検査装置。

IPC (3)：

G01N 25/68 , G01N 21/88 , G01N 25/72

FI (3)：

G01N 25/68 A , G01N 21/88 E , G01N 25/72 G

F-Term (34)：

2G040AA08 , 2G040AB03 , 2G040BA02 , 2G040BA18 , 2G040BA27 , 2G040CA02 , 2G040CA12 , 2G040CA23 , 2G040CB04 , 2G040CB09 , 2G040CB14 , 2G040DA02 , 2G040DA12 , 2G040DA16 , 2G040EA07 , 2G040EB02 , 2G040EC09 , 2G040FA04 , 2G040GB01 , 2G040HA02 , 2G040HA06 , 2G040HA11 , 2G051AA51 , 2G051AA61 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051AC04 , 2G051BB19 , 2G051CA04 , 2G051CA11 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051EA08 , 2G051EB01

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