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J-GLOBAL ID:200903066537361405
固体検出器の製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
則近 憲佑
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991279156
Publication number (International publication number):1993119158
Application date: Oct. 25, 1991
Publication date: May. 18, 1993
Summary:
【要約】【目的】 本発明は、シンチレータの全体の幅、チャネル間ピッチを切込み加工に使用する機械の精度と同等まで高めることのできる固体検出器の製造方法を提供することを目的とする。【構成】 シンチレータ板1に所定厚を残して予め設定されるチャネル間ピッチで切込みSを入れ、この切込みSにリフレクタ3を挿入した後に、当該シンチレータ1とリフレクタ3とを接着して一体化し、その後にシンチレータ1の表裏を研磨して前記残された所定厚のシンチレータ1を削除し、さらにこの研磨され規定の厚みとなったシンチレータ1の一側面にフォトダイオード7を配設することを特徴とする。
Claim (excerpt):
シンチレータ板に所定厚を残して予め設定されるチャネル間ピッチで切込みを入れ、この切込みに反射材を挿入した後に、当該シンチレータと反射材とを接着して一体化し、その後にシンチレータの表裏を研磨して前記残された所定厚のシンチレータを削除し、さらにこの研磨され規定の厚みとなったシンチレータの一側面に光検出手段を配設することを特徴とする固体検出器の製造方法。
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