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J-GLOBAL ID：200903066550419102
イオンガイド
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小林 良平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002270320
Publication number (International publication number)：2004111149
Application date： Sep. 17, 2002
Publication date： Apr. 08, 2004
Summary：
【課題】低真空室と高真空室との間に、それらの中間の真空度に保持される1つ以上の中間室を備える装置において、低真空室から高真空室へ高い効率でイオンを輸送することができるイオンガイドを提供する。【解決手段】中間室30内に、イオン通過孔を有する板状電極32をイオンの輸送方向に複数枚並置する。中間室30と隣接室31との間に、両者の真空度を維持すると共にイオンを透過させるために細孔(アパーチャ)33aを設けた板状のアパーチャ電極33を設置する。板状電極32及びアパーチャ電極33を区別せずにこれらの電極に高周波電圧を印加する。形成される高周波電場により、気体分子との衝突によって進行方向が変化したイオンを、所定の進行方向へ誘導することができる。この高周波電場は板状電極32からアパーチャ電極33まで連続的に形成され、従来イオンの損失が生じていたアパーチャ付近においても効率よくイオンを輸送することができる。【選択図】 図6
Claim (excerpt)：
低真空室から高真空室へイオンを輸送する経路にあり、前記低真空室と前記高真空室との間に設けられる中間室に設置されるイオンガイドにおいて、
a)前記中間室内に、イオンの輸送方向に複数枚並置し、イオン光軸の周囲にイオン通過孔を設けた板状電極と、
b)前記中間室と隣接する室との隔壁の一部として配置し、イオン光軸の周囲に細孔を設けた板状のアパーチャ電極と、
c)前記複数枚の板状電極及びアパーチャ電極に高周波電圧を印加する高周波電源と、
を備えることを特徴とするイオンガイド。
IPC (2)：
FI (4)：
H01J49/06
, G01N27/62 E
, G01N27/62 L
, G01N27/62 X
5C038FF01
, 5C038FF07
, 5C038FF13
