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J-GLOBAL ID：200903066553520270

MgO蒸着材およびその製造方法

Inventor：
桜井 英章

About 桜井 英章

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豊口 銀二郎

About 豊口 銀二郎

, 
黒光 祥郎

About 黒光 祥郎


Applicant, Patent owner：
三菱マテリアル株式会社

About 三菱マテリアル株式会社


Agent (1)： 志賀 正武 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002335649
Publication number (International publication number)：2003226956
Application date： Nov. 19, 2002
Publication date： Aug. 15, 2003
Summary：
【要約】【課題】 電子ビーム蒸着法にて蒸着しても、スプラッシュが殆ど発生せずかつ成膜されるMgO膜の膜特性の向上を図る。【解決手段】 MgO純度が99.0%以上かつ相対密度が90.0%以上で、硫黄S含有量が0.01〜50ppmの多結晶とした。
Claim (excerpt)：
MgO純度が99.0%以上かつ相対密度が90.0%以上で、硫黄S含有量平均値が0.01〜50ppmの多結晶ペレットとされることを特徴とするMgO蒸着材。
IPC (3)：
C23C 14/24 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02
FI (3)：
C23C 14/24 E ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B
F-Term (13)：
4K029AA09 ,  4K029BA43 ,  4K029BC05 ,  4K029BC08 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029DB05 ,  4K029DB08 ,  4K029DB21 ,  4K029DD03 ,  5C027AA07 ,  5C040GE09
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (12)
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