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J-GLOBAL ID:200903066558883100

放射線検出装置及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山下 穣平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995219309
Publication number (International publication number):1997061535
Application date: Aug. 28, 1995
Publication date: Mar. 07, 1997
Summary:
【要約】【課題】 蛍光体塗布工程が終了した時点での不良により、高価な光検出器部分も同時に不良となってしまうことがなく、また、開口率を大きくしても、基体の強度が弱くならず、ハンドリング時のたわみ等により画像ムラが発生することがない放射線検出装置を実現する。【解決手段】 光検出器22の複数の画素1の配置に対応した開口部23を有する遮光用メッシュ板17の片面に強度保持用板16を貼り合わせる工程と、前記開口部23に蛍光体20を分離して充填することにより蛍光板を作製する工程と、前記蛍光板と、前記光検出器を形成した基板22とを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする放射線検出装置の製造方法及び放射線検出装置。
Claim (excerpt):
蛍光板と光検出器を組み合わせてなる放射線検出装置において、前記蛍光板は、前記光検出器の複数の画素配置に対応した開口部を有する遮光用メッシュ板と、該遮光用メッシュ板の片面に貼り合わせられた強度保持用板と、前記開口部に分離して充填された蛍光体と、を具備し、前記蛍光板と、前記光検出器を形成した基板とを貼り合わせて構成したことを特徴とする放射線検出装置。
IPC (3):
G01T 1/20 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/09
FI (4):
G01T 1/20 E ,  G01T 1/20 B ,  H01L 27/14 K ,  H01L 31/00 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 放射線検出素子
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-224307   Applicant:浜松ホトニクス株式会社
  • 特公昭48-030497
  • 特開昭55-067700

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