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J-GLOBAL ID：200903066585171731
金属酸化物薄膜の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996051604
Publication number (International publication number)：1997241008
Application date： Mar. 08, 1996
Publication date： Sep. 16, 1997
Summary：
【要約】【課題】極めて薄い金属酸化物薄膜を、厚み精度良く、且つ確実に形成し得る金属酸化物薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】水酸基を有する固体表面に、該固体の水酸基と縮合反応し且つ加水分解により水酸基を生成し得る基を有する金属化合物、例えば、金属アルコキシド類等を接触させることにより該金属化合物を化学吸着させ、次いで、過剰の金属化合物を洗浄等の手段により除去した後、上記固体表面に存在する金属化合物を加水分解する。
Claim (excerpt)：
水酸基を有する固体表面に、該固体の水酸基と縮合反応し且つ加水分解により水酸基を生成し得る基を有する金属化合物を接触させることにより該金属化合物を化学吸着させ、次いで、過剰の金属化合物を除去した後、上記固体表面に存在する金属化合物を加水分解することを特徴とする金属酸化物薄膜の製造方法。
IPC (6)：
C01B 13/32
, B01J 19/00
, C23C 30/00
, H01L 31/04
, H01L 41/09
, H01L 21/316
C01B 13/32
, B01J 19/00 K
, C23C 30/00 C
, H01L 21/316 G
, H01L 31/04 T
, H01L 41/08 U
