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J-GLOBAL ID：200903066596258855

陽極酸化膜の形成方法

Inventor： 大村 卓
Applicant, Patent owner： カシオ計算機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991252846
Publication number (International publication number)：1993067784
Application date： Sep. 05, 1991
Publication date： Mar. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】表面に荒れがなく、絶縁膜としての特性に優れた陽極酸化膜を得る。【構成】金属膜10のパターニングを行なった後、この金属膜10の表面をライトエッチング処理し、この後金属膜10を陽極酸化する。

Claim (excerpt)：

所定形状にパターニングした金属膜を陽極酸化して陽極酸化膜を形成する方法において、前記金属膜のパターニングを行なった後、この金属膜の表面をライトエッチング処理し、この後前記金属膜を陽極酸化することを特徴とする陽極酸化膜の形成方法。

IPC (4)：

H01L 29/784 ,  C25D 11/02 ,  H01L 21/316 ,  H01L 27/12