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J-GLOBAL ID：200903066612790945

ポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた積層体

Inventor： 赤堀 聡彦 ,  立木 繁雄 ,  広 昌彦
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991314527
Publication number (International publication number)：1993150454
Application date： Nov. 28, 1991
Publication date： Jun. 18, 1993
Summary：

【要約】【目的】 光感度、安定性、現像裕度などの性能に優れ、高解像度のレジストパターンを形成しうるポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性積層体を提供すること。【構成】 分子内に酸分解性基であるカルボン酸エステル構造を有する化合物及び活性光線の照射により酸を生成する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物において、活性光線の照射により酸を生成する化合物が下記の一般式(I)で示される化合物であるポジ型感光性樹脂組成物及び該ポジ型感光性樹脂組成物の層を基材上に積層してなる積層体である。なお、式中、R1 及びR2 はアルキル基を表し、R3 は水素又はアルキル基などの置換基を表す。【化1】

Claim (excerpt)：

分子内に酸分解性基であるカルボン酸エステル構造を有する化合物及び活性光線の照射により酸を生成する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物において、活性光線の照射により酸を生成する化合物が一般式(I)【化1】〔式中、R1 及びR2 はアルキル基を表し、R3 は水素、アルキル基、水酸基、ニトロ基又はアルコキシ基を表す〕で示される化合物であるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (8)：

G03F 7/039 501 ,  C09D 5/44 PRS ,  C23F 1/00 102 ,  C25D 13/00 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027