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J-GLOBAL ID:200903066625994493

レーザ加工ヘッド、レーザ加工装置及びレーザ加工方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 高橋 敬四郎 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996002160
Publication number (International publication number):1997192870
Application date: Jan. 10, 1996
Publication date: Jul. 29, 1997
Summary:
【要約】【課題】 デブリの付着を抑制し、加工対象物から発生したガスを加工部近傍から除去することができるレーザ加工技術を提供する。【解決手段】 加工対象物の表面にレーザ光を導波する光学系と、加工対象物の表面のレーザ光の照射領域に向かって、アシストガスを噴出するガス噴出手段と、前記ガス噴出手段から噴出した前記アシストガスを吸引し、加工対象物の表面近傍から除去するガス吸引手段とを有する。
Claim (excerpt):
加工対象物の表面にレーザ光を導波する光学系と、加工対象物の表面のレーザ光の照射領域に向かって、アシストガスを噴出するガス噴出手段と、前記ガス噴出手段から噴出した前記アシストガスを吸引し、加工対象物の表面近傍から除去するガス吸引手段とを有するレーザ加工ヘッド。
IPC (3):
B23K 26/14 ,  B23K 26/06 ,  B23K 26/08
FI (3):
B23K 26/14 A ,  B23K 26/06 A ,  B23K 26/08 N

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